半导体SECS/GEM介绍,最全资料和解读.SVID、CEID、REPTID |
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协议背景
由于半导体高速发展和复杂化,半导体协议SEMI和半导体厂商共同制定半导体通讯协议,最初目的是提高产品良率和提升自动化生产程度。进入2010年后,协议慢慢的开始应用到其他领域:半导体封测行业、PCB、面板和光伏等。 SECS/GEM属于semi标准的其中一部分,主要包括协议E4、E5、E30、E37。
SECS/GEM最早是使用R232串口通讯(SECS-I标准),直到到1992年发布TCP/IP通讯(HSMS标准)。如今新设备支持SECS/GEM都采用TCP/IP网口通讯(HSMS标准)。 ** 下载资料网站 www.secsgem.cn 应用场景** SECS/GEM协议主要应用在半导体行业,协议最早在半导体晶圆厂(FAB)里面使用, 标准定义协议主要包含E4、E5、E30和E37等协议,他们分别用途是: ① E4对R232通讯的定义和规范 ② E5是设备和Host数据消息交互规范 ③ E30是设备和Host交互的流程和数据分类 ④ E37是对TCP/IP通讯的定义和规范 在SECS/GEM的E30标准(GEM)中,将设备功能划分为以下几种大功能。 ① 设备状态 ② 设备各种数据上传 ③ 关键动作的事件报告 ④ 警报故障报告 ⑤ 远程控制设备 Stream Function Message Name Description Sx F0 Abort Transaction H E S1 F1 Are You There Request H E S1 F2 On Line Data H E S1 F3 Selected Equipment Status Request H --> E S1 F4 Selected Equipment Status Data H E S1 F12 Status Variable Namelist Reply H E S1 F16 OFF-LINE Acknowledge H E S1 F18 ON-LINE Acknowledge H E S1 F22 Data Variable Namelist H E S1 F24 Collection Event Namelist H E S2 F14 Equipment Constant Data H E S2 F16 New Equipment Constant Acknowledge H E S2 F18 Date and Time Data H E S2 F24 Trace Initialize Acknowledge H E S2 F30 Equipment Constant Namelist H E S2 F32 Date and Time Set Acknowledge H E S2 F34 Define Report Acknowledge H E S2 F36 Link Event Report Acknowledge H E S2 F38 Enable/Disable Event Report Acknowledge H E S2 F42 Host Command Acknowledge H E S5 F4 Enable/Disable Alarm Acknowledge H E S5 F6 List Alarm Data H E S5 F8 List Enabled Alarm Data H E S6 F16 Event Report Data H E S6 F18 Annotated Event Report Data H E S6 F20 Individual Report Data H E S6 F22 Annotated Individual Report Data H E S7 F18 Delete Process Program Acknowledge H E S7 F20 Current EPPD Data H |
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